顯微分光膜厚儀（OPTM系列）

測量目標膜的**反射率，高精度測量膜厚和光學常數(shù)！非接觸·非破壞·顯微

測量時間僅1秒!

OPTM系列使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過**反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數(shù)的軟件

產(chǎn)品特點：

頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學常數(shù)）

1點1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)（紫外***近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機制

易于分析向?qū)В鯇W者也能夠進行光學常數(shù)分析

獨立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項目：

**反射率測量

多層膜解析

光學常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

應(yīng)用：

半導體：晶圓樣品的自動調(diào)整，晶圓的彎曲檢測

光學元器件：鏡頭鏡片的放射率，彎曲等檢測

顯微分光膜厚儀（OPTM系列） 產(chǎn)品規(guī)格型號：